회사홍보
홈 > 뉴스 > 회사홍보
[TM]초고속, 초정밀 'PACE CM3'에 대하여
PACE 컨트롤러는 압력 측정과 동시에 발생이 가능한 공합용 디지털 컨트롤러입니다.
교체가 가능한 모듈식 압력 시스템은 범위 변경, 교정 또는 서비스를 위해 모듈을 가동 중지 시간 없이 신속하게 장착할 수 있습니다.
또한, Druck의 압력 제어 시스템으로 최신 압력 센서 기술인 Piezo-resistive 소자가 탑재되어 높은 안정도와 초고속 스피드를 자랑하여
압력 자동화 공정에 많이 사용되고있습니다.
TERPS®란?
TERPS® (Trench Etched Resonant Pressure Sensor)는 센서의 격막에 가해지는 압력에 비례하는
변환기의 주파수를 변경하는 공진 구조물의 움직임 (straining)을 기반으로 드리프트 및 압력/온도 히스테리시스 측면에서
뛰어난 성능을 선보이며, 무결점에 가까운 장기 안정도와 정확도를 제공합니다.
전체 구조(격막 및 공진기)는 압력이 가해질 때 주파수 변화에 따른 신호가 끊김없이 지속적으로 발생하도록
기계적인 동작으로 균형을 이룹니다. 이는 변환기의 높은 정밀도를 제공하는 데 특히 중요하며,
TERPS의 실제 사양은 데이터시트에 기재 된 15ppm FS의 정밀도를 능가합니다.