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[TM]초고속, 초정밀 'PACE CM3'에 대하여

2020-12-21
조회수 87

PACE 컨트롤러는 압력 측정과 동시에 발생이 가능한 공합용 디지털 컨트롤러입니다.

교체가 가능한 모듈식 압력 시스템은 범위 변경, 교정 또는 서비스를 위해 모듈을 가동 중지 시간 없이 신속하게 장착할 수 있습니다.

또한, Druck의 압력 제어 시스템으로 최신 압력 센서 기술인 Piezo-resistive 소자가 탑재되어 높은 안정도와 초고속 스피드를 자랑하여

압력 자동화 공정에 많이 사용되고있습니다.


TERPS®란?

TERPS® (Trench Etched Resonant Pressure Sensor)는 센서의 격막에 가해지는 압력에 비례하는 

변환기의 주파수를 변경하는 공진 구조물의 움직임 (straining)을 기반으로 드리프트 및 압력/온도 히스테리시스 측면에서 

뛰어난 성능을 선보이며, 무결점에 가까운 장기 안정도와 정확도를 제공합니다.


전체 구조(격막 및 공진기)는 압력이 가해질 때 주파수 변화에 따른 신호가 끊김없이 지속적으로 발생하도록

기계적인 동작으로 균형을 이룹니다. 이는 변환기의 높은 정밀도를 제공하는 데 특히 중요하며,

TERPS의 실제 사양은 데이터시트에 기재 된 15ppm FS의 정밀도를 능가합니다.